第413章 万兴刚想出改进的办法（第2页）

一秒记住【67书吧 https://www.67book.cc】，精彩小说无弹窗免费阅读！

    即使是这样。
    对其他国家来说。
    龙国出口的光刻机已经是非常先进，精度非常高，是他们短时间内难以企及的，不得不进口。
    要是有自我研发能力还好。
    要是没有自我研发能力，一直以来进口，就会严重限制他们的工业发展，发展速度严重落后。
    龙国自己用的第一代光刻机，用的也是石英透镜，但加工技术不一样。
    用的是抛物面透镜技术。
    通过非球面镜改善相差，相比球面镜，柱镜片，抛物面透镜有更高的精度。
    抛雾面透镜技术，相比球面透镜技术，复杂很多，加工难度高很多，加工成本也跟着上升。
    导致抛物面透镜比球面透镜贵很多。
    同时。
    抛物面透镜也不完美。
    非球面，光线在进入透镜的时候，折射角度会有所变化，会导致曝光区域的光强度分布不均。
    导致图案畸形，或者不完全曝光。
    这些都会影响光刻机的精度。
    比抛物镜技术更先进的技术是布拉格透镜技术，能制造出一种有周期性变化折射率的光学元件。
    这种技术出现在八九十年代。
    制造技术更复杂。
    成本更高。
    万兴邦没有采用布拉格透镜技术，而是采用了更先进的非球面透镜技术。
    万兴邦穿越之前，在繁华年代，最先进的光刻机使用的透镜，用的技术就是非球面透镜技术。
    相比传统透镜。
    非球面透镜技术优点很多，全方位超越传统透镜。
    第二代光刻机的技术，不仅在六十年代是领先的，就算再过五六十年，很多技术也不过时。
    同时。
    第二代光刻机采用了接触式近场光刻技术。
    而第一代光刻机，包括出口的阉割版，用的都是远场光刻技术。
    远场光刻技术缺点非常明显。
    首先受光的衍射限制。
    应用远场光刻技术的光刻机，精度根本达不到纳米级别，造成传统光刻机无法应用在纳米领域。
    也处理不了特征尺寸非常小或非常大的图案
    罪魁祸首就是光的衍射!
    在加工特征尺寸非常小的图案的时候，由于光的衍射效应，造成分辨率有限，无法准确复制小尺寸结构。
    加工特征尺寸非常大的图案的时候，又因为投影范围有限，无法覆盖足够大面积，也无法准确复制大尺寸结构。
    其次是成本高。
    传统光刻机因为技术限制，对原材料要求苛刻，符合加工条件的原材料价格一般都比较贵。
    增加了加工成本。